Scriptiebank is een vrij toegankelijke online databank. Deze bevat alle artikels en full text scripties van deelnemende bachelors en masters aan de Vlaamse Scriptieprijs.

A materials and methods study for the fabrication process of thermal actuator microelectromechanical systems

Bjarne Nilis
Het conventionele productieproces van microelectromechanical systems: silicon micromachining, is een duur en langdurig proces. Binnen deze thesis worden alternatieve materialen en productietechnieken nader bekeken.