A materials and methods study for the fabrication process of thermal actuator microelectromechanical systems

Universiteit Hasselt
2021
Bjarne
Nilis
Het conventionele productieproces van microelectromechanical systems: silicon micromachining, is een duur en langdurig proces. Binnen deze thesis worden alternatieve materialen en productietechnieken nader bekeken.
Meer lezen